专注于半导体热场材料的研发、制造与销售 山东省青岛市城阳高新区新业路86号 服务热线:17664029221

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石墨材料及制品符合半导体产业对材料纯度、稳定性、精密加工精度的严苛要求,可根据客户不同工艺需求定制化生产配套产品,产品纯度≤5ppm,适配不同规格的单晶生产设备。

Graphite Series

石墨制品

主要包括单晶炉用热场配件、石墨坩埚、保温筒等多个品类,助力硅晶生长环节良率提升与成本控制。

G1

热场系统配套

坩埚 · 加热 · 保温 · 沉积
单晶石墨热场

单晶石墨热场

热场系统配套
石墨保温桶及加热器

石墨保温桶及加热器

热场系统配套
高纯石墨加热体

高纯石墨加热体

热场系统配套
大尺寸加热器

大尺寸加热器

热场系统配套
保温筒

保温筒

热场系统配套
石墨软毡

石墨软毡

热场系统配套
石墨硬毡

石墨硬毡

热场系统配套
气相沉积石墨盘

气相沉积石墨盘

热场系统配套
G2

结构件与模具

导流 · 烧结 · 连铸 · 连接
导流筒

导流筒

结构件与模具
导流筒非标定制

导流筒(非标定制)

结构件与模具
电子烧结模具

电子烧结模具

结构件与模具
连铸模具

连铸模具

结构件与模具
石墨连板

石墨连板

结构件与模具
汽车用水泵石墨转子

汽车用水泵石墨转子

结构件与模具
G3

石墨材料与新能源部件

材料 · 双极板 · 粉末冶金
石墨材料

石墨材料

石墨材料
氢燃料电池石墨双极板

氢燃料电池石墨双极板

新能源部件
粉末冶金石墨料板

粉末冶金石墨料板

石墨材料
Quartz Series

石英制品

面向半导体工艺环节的高纯石英制品配套:点火腔室、反应管、鼓泡器、石英炉管、石英舟、清洗槽等,配合洁净加工环境,满足晶圆制造对纯净度与几何精度的要求。

Q1

管类与热场载体

炉管 · 反应管 · 石英舟
石英炉管

石英炉管

管类与热场载体
反应管

反应管

管类与热场载体
石英舟

石英舟

管类与热场载体
外延石英轴

外延石英轴

管类与热场载体
石英瓶

石英瓶

管类与热场载体
试管

试管

管类与热场载体
Q2

腔体与器皿

腔室 · 鼓泡 · 容器
点火腔室

点火腔室

腔体与器皿
点火腔室异型定制

点火腔室(异型定制)

腔体与器皿
鼓泡器

鼓泡器

腔体与器皿
烧杯

烧杯

腔体与器皿
石英接液瓶

石英接液瓶

腔体与器皿
石英方缸

石英方缸

腔体与器皿
石英异型件

石英异型件

腔体与器皿
石英制品组件

石英制品(组件)

腔体与器皿
Q3

清洗与洁净配套

清洗槽 · 洁净车间
石英清洗槽

石英清洗槽

清洗与洁净配套
洁净车间

洁净车间配套

清洗与洁净配套
Graphite Grades

石墨材料牌号指标

供应体系覆盖进口及国产多牌号石墨材料:进口 IG 系列、ISEM 系列,国产 SN 系列及中粗料,满足不同工况的选型需求。

牌号 体积密度硬度电阻率抗折强度抗拉强度抗压强度杨氏模量热膨胀系数热导率
g/cm³HSDμΩ·mMPaMPaMPaGPa10⁻⁶/KW/(m·K)
进口材料
IG-111.775111.03978259.84.5120
IG-451.88559.0601104012.04.9140
IG-561.775712.243882710.34.7100
IG-701.835810.0471033111.84.6130
ISEM-91.786313.4521063410.15.690
国产材料
SN-11.835810.04710331.411.84.6128
SN-21.875314.0468834.310.15.695
SN-31.80488.546852911.84.8139
中粗料1.78568.51535309.04.7110

* 以上为典型值,具体牌号参数以产品质保书及技术协议为准;如需其他牌号或定制规格,请联系我们获取完整选型资料。

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